捷太格特 (JTEKT) 一直致力于開發和生產在嚴酷環境下使用的特殊環境用軸承系列。

此次，捷太格特為解決半導體制造設備的維護修理、軸承單元化的推進等半導體制造相關的客戶難題推出了此項提案。

※ EXSEV®是為了對應諸多環境和用途，使用了與通常不同的軸承材料和潤滑劑的軸承系列，是捷太格特的注冊商標。

背景概述

近年來，由于智能手機性能的提升、物聯網技術和人工智能的發展以及自動駕駛的普及，半導體的需求也在迅速擴大。捷太格特收集了半導體制造設備用戶的意見，把握軸承相關客戶的困擾，除了銷售產品，捷太格特還會為實現半導體設備的穩定運行和提高生產效率，將服務擴展到半導體制造設備的維修市場。

另外，捷太格特將軸承從單品銷售到作為包含周邊部件的單元來使用，對簡化維護工作和延長維護周期做出了貢獻。

半導體制造過程中的軸承使用環境

捷太格特開發了適用于在真空、凈化、高溫、腐蝕等惡劣環境下加工的特殊環境用軸承，目前已具備了滿足客戶需求的產品陣容。

<表1：半導體制造工序和主要軸承使用環境>

*注：適用商品例 (1) 到 (4) 請參照以下的商品群

EXSEV系列主要產品陣容

（1）EXSEV ®-EX (真空、凈化用含氟類潤滑脂的軸承以及潤滑脂)

 【EXSEV ®-EX】【EXSEV ®-EX (潤滑脂) 】

在制造半導體的真空、凈化的環境下，需要在低蒸汽壓力下化學反應穩定的氟潤滑脂。捷太格特的產品有對環境負荷較小且不含全氟辛酸 (PFOA)的氟潤滑脂，以及封入該氟潤滑脂的低發塵軸承EXSEV ®-EX。

與現行品相比，它進一步降低了發塵量，具備優異性能的同時符合環境法規，為減輕半導體制造設備對環境的負荷做出了貢獻。

<圖1  發塵量比>

參考URL: https://www.jtekt.com.cn/news/product/1017.html

※圖1：本公司對比

（2）NEW Clean Pro ®-PR (真空、凈化用特殊氟固體潤滑被膜軸承)

在高度凈化環境中，使用涂有特殊氟高分子膜的新凈化軸承。與現行品相比，釋放氣體相同、發塵量降低一半以上、發塵壽命※2 (圖2) 為10倍以上，實現了軸承性能的大幅度提高，對提高制造裝置可靠性以及運行成本的降低做出了貢獻。

※2發塵壽命：一定時間內的發塵量超過清潔等級10 (ISO等級4) 為止的時間

參考URL:https://koyo.jtekt.co.jp/products/exsev/lineup/sepr/

<圖2 發塵壽命>

※NEW Clean Pro ®是株式會社捷太格特的注冊商標。

（3）EXSEV ®-XT 

(高溫用含氟潤滑脂的軸承)

加入了能在350°C高溫環境下使用的潤滑脂的高耐熱軸承。在300°C的溫度里，捷太格特實現了比現行高溫用固體潤滑軸承高達6倍以上的軸承壽命(圖3) 。通過在高溫下延?使用壽命，對降低設備的維護成本做出了貢獻。

<圖3  燒結壽命比>

（4）耐腐蝕陶瓷軸承

在某些制造工序中，存在即使是不銹鋼也無法應對的腐蝕性極強的環境。而在軌道輪和滾珠上使用陶瓷材料的耐腐蝕陶瓷軸承可以對應此種環境。捷太格特通過提供各種陶瓷軸承產品陣容以應對多種腐蝕環境，為提高半導體生產效率做出貢獻。

<陶瓷軸承>

<圖4  陶瓷的適用范圍概念圖>

*EXSEV ®軸承系列其他產品介紹：https://koyo.jtekt.co.jp/products/exsev/

捷太格特的軸承事業品牌“Koyo”，以“Key of your operation”為理念，作為與客戶共同解決問題、把喜悅提供給客戶的合作伙伴，將為客戶提供適應多種環境的軸承、為所有產業的可持續發展做出貢獻。

（來源：捷太格特）